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硅微角振动输出陀螺仪

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摘要

本实用新型涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本实用新型采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。

著录项

  • 公开/公告号CN202216695U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2012-05-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京理工大学;

    申请/专利号CN201120214654.6

  • 发明设计人 苏岩;姜劭栋;丁衡高;裘安萍;施芹;

    申请日2011-06-23

  • 分类号

  • 代理机构南京理工大学专利中心;

  • 代理人唐代盛

  • 地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200号

  • 入库时间 2022-08-21 23:28:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-08-11

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C19/5733 授权公告日:20120509 终止日期:20160623 申请日:20110623

    专利权的终止

  • 2012-05-09

    授权

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