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余磊; 徐大诚; 郭述文;
苏州大学微纳传感技术研究中心,江苏苏州215100;
硅微角振动陀螺仪; 温度补偿; 标度因数温度系数; 全温零偏稳定性;
机译:用于振动陀螺仪的(100)硅环谐振器模式匹配的几何补偿
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