法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C1/00 授权公告日:20120808 终止日期:20161215 申请日:20111215
专利权的终止
2012-08-08
授权
授权
机译: 带电粒子线曝光装置中气泡偏转量的测量方法以及带电粒子线曝光装置中曝光量的调整方法
机译: 废物量映射生成装置,废物量图生成系统,废物量图生成方法和废物量图生成程序
机译: 返回速度测量设备,训练学习模型生成装置,训练数据生成装置,训练量测量方法,训练学习模型生成方法,培训数据生成方法,训练量测量程序,训练学习模型生成程序,以及学习数据生成程序