法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/63 授权公告日:20160210 终止日期:20160921 申请日:20150921
专利权的终止
2016-02-10
授权
授权
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 照明装置,特别是用于机动车的前照灯模块,具有发光体元件和两个用于激发发光体元件的光发射的激发源,其中激发源具有不同的发射光谱
机译: 基于激光诱导等离子体的原子发射光谱仪装置,包括相同结构的半导体制造设备以及使用相同结构制造半导体元件的方法