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一种高性能RF MEMS电容式开关

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摘要

本实用新型涉及一种高性能RF MEMS电容式开关，包括有衬底，衬底上分布有微波传输线，微波传输线上依次固定有介质层和电容上极板，微波传输线两侧分布有地结构，地结构开设有电极容纳槽，电极容纳槽内设置有开关驱动电极，且开关驱动电极底部固定于衬底上，开关驱动电极上方镜像悬挂有金属膜桥，金属膜桥同时连接地结构，地结构上设有开口，开口内设有引线，开口上连接有金属引线盖。能够让驱动电极远离微波传输线，对信号传输的影响很小，插入损耗更低。可以实现“OFF”、“ON”状态，对地电容值可分别调节。金属膜桥架设在开口上方，保证共面波导完整性，从而减小插入损耗。整体构造简单，易于制造。

著录项

  • 公开/公告号CN209461307U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2019-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州希美微纳系统有限公司;

    申请/专利号CN201920515959.7

  • 发明设计人 肖倩;王竞轩;陈涛;刘泽文;

    申请日2019-04-16

  • 分类号

  • 代理机构苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈晓瑜

  • 地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号西北区9栋402室

  • 入库时间 2022-08-22 10:50:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-01

    授权

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