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一种夹紧机构及包括该夹紧机构的气浮滑座

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本实用新型提供了一种用于防止断气后真空吸附滑块脱离导向面的夹紧机构，本夹紧机构包括正向夹紧气缸(9)和侧向夹紧气缸(3)。一种气浮滑座，包括所述的一种用于防止断气后真空吸附滑块脱离导向面的夹紧机构，还包括加长杆(4)、测头(5)、测头夹持杆(6)、正向气浮滑块(7)、右侧平衡块(8)及左侧气浮滑块(10)。本实用新型在每个真空吸附滑块的对立面安装夹紧气缸；将夹紧气缸的正压气腔与真空吸附滑块正压气路连通。结构简单；体积小巧；可以克服断气后气浮滑块脱离大理石导向面的情况；开机通气后气浮滑块可以自行吸附在大理石导向面上。

著录项

公开/公告号CN211601888U

专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-29

原文格式PDF
申请/专利权人深圳市中图仪器股份有限公司;
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申请/专利号CN202020446765.9
发明设计人黄庭总;陈源;
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申请日2020-03-31
分类号G01B13/18(20060101);
代理机构44248 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙);
代理人胡吉科
地址 518000 广东省深圳市南山区西丽街道学苑大道1001号南山智园B1栋2楼
入库时间 2022-08-22 17:02:48

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