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一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构

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本实用新型涉及一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，包括箱体、框架和清洗池，所述箱体的内部中间固定安装有清洗池，清洗池的内部顶端设有滚筒，滚筒的表面转动安装有挡板，滚筒的两端固定安装安装有轴杆，轴杆转动安装在框架的内部，所述框架的顶端一侧固定安装有第一马达，第一马达的输出端通过皮带转动连接轴杆，所述框架的顶端中间固定连接在液压缸的输出端，且液压缸固定安装在箱体的外部顶端。本实用新型利用液压缸升起或者降下滚筒，将装有晶圆的滚筒在清洗池内进行进出，而滚筒可由马达转动，这样可让滚筒内部的晶圆能清洗多面，在滚筒升起后由一侧的风扇对其进行吹风，使其快速风干，从而达到了便于工作人员使用的效果。

著录项

公开/公告号CN213670789U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-07-13

原文格式PDF
申请/专利权人无锡亚电智能装备有限公司;
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申请/专利号CN202022189499.9
发明设计人钱诚;童建;吴清;
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申请日2020-09-29
分类号B08B3/06(20060101);H01L21/67(20060101);F26B21/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 214000 江苏省无锡市无锡新吴区无锡中关村软件园30号楼
入库时间 2022-08-22 22:55:51

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