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用于PECVD反应室的辅助加热装置及PECVD反应室

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摘要

本实用新型公开了用于PECVD反应室的辅助加热装置及PECVD反应室。辅助加热装置包括绝缘封头、保护管和辅助加热丝，所述绝缘封头设于反应室一端端部的外侧，且绝缘封头与反应室的端部之间具有密封结构，所述反应室一端端部的内侧设有内安装套，所述保护管设于反应室内，且保护管的一端套在所述内安装套内，所述辅助加热丝设于保护管内，且辅助加热丝的引线穿设在绝缘封头上。反应室采用上述的辅助加热装置。本实用新型保护管不需要参于密封，仅用于保护辅助加热丝不直接暴露在高温等离子体气氛中，安装方式简单，易于更换，简化了辅助加热装置的制备过程和PECVD反应室的设计的用于PECVD反应室。

著录项

  • 公开/公告号CN214458314U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖南红太阳光电科技有限公司;

    申请/专利号CN202023146457.3

  • 发明设计人 谢成;张春成;李明;

    申请日2020-12-23

  • 分类号C23C16/50(20060101);

  • 代理机构43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙);

  • 代理人戴玲

  • 地址 410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号

  • 入库时间 2022-08-23 01:10:52

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