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一种厂务气体供应系统及厂务系统

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本实用新型公开了一种厂务气体供应系统及厂务系统。厂务气体供应系统包括：气体供应装置、缓冲装置和监控装置；气体供应装置的输出端与缓冲装置的输入端通过第一管路连接，缓冲装置的输出端用于通过第二管路输出气体到机台设备；缓冲装置与所述监控装置连接，监控装置用于采集缓冲装置的参数，并在参数超过预设值时发出报警信号。本实用新型解决了利用阀门调节气体流量不方便的问题，达到了不用调节阀门即可稳定气体，减小气体波动，避免机台当机的效果。

著录项

公开/公告号CN215908866U

专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-25

原文格式PDF
申请/专利权人泉芯集成电路制造(济南)有限公司;
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申请/专利号CN202120345984.2
发明设计人阙文峰;李秋茂;梁智澎;
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申请日2021-02-05
分类号F17D1/02(20060101);F17D3/01(20060101);G08B21/24(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 250101 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
入库时间 2022-08-23 05:04:11

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法律状态公告日

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法律状态
2022-02-25

授权

实用新型专利权授予

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