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一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法及实时系统

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摘要

现有用于控制椭偏仪测量的方法均是使用非实时系统实现，无法实时的控制椭偏仪各部件，会引起椭偏仪数据采集延后、测量效率低、集成工作难度大。本发明提出了一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法以及相应的实时系统，其中，该方法包括如下步骤：i.接收来自外部的指示；ii.根据该指示，使用运动控制模块，通过运动控制卡(5)，控制椭偏仪的起偏器(2)和/或验偏器(3)；iii.根据该指示，使用探测控制模块，控制椭偏仪的探测器(4)；其中，所述运动控制模块和所述探测控制模块并行地实时运作。本发明的实施方式确保测量控制实时性和测量控制的精度。并且，由于是在实时系统中，能够实时响应外部发送来的指示，没有延迟。

著录项

  • 公开/公告号CN103869830B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 睿励科学仪器(上海)有限公司;

    申请/专利号CN201210552910.1

  • 发明设计人 王勇;

    申请日2012-12-18

  • 分类号

  • 代理机构北京市金杜律师事务所;

  • 代理人郑立柱

  • 地址 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢

  • 入库时间 2022-08-23 09:49:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-22

    专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G05D 3/12 授权公告日:20161123 登记号:2019310000002 出质人:睿励科学仪器(上海)有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 解除日:20191029 申请日:20121218

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2019-02-19

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G05D 3/12 登记号:2019310000002 登记生效日:20190121 出质人:睿励科学仪器(上海)有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 发明名称:一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法及实时系统 授权公告日:20161123 申请日:20121218

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2019-02-19

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G05D 3/12 登记号:2019310000002 登记生效日:20190121 出质人:睿励科学仪器(上海)有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 发明名称:一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法及实时系统 授权公告日:20161123 申请日:20121218

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2016-11-23

    授权

    授权

  • 2016-11-23

    授权

    授权

  • 2016-11-23

    授权

    授权

  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D3/12 申请日:20121218

    实质审查的生效

  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D3/12 申请日:20121218

    实质审查的生效

  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 3/12 申请日:20121218

    实质审查的生效

  • 2014-06-18

    公开

    公开

  • 2014-06-18

    公开

    公开

  • 2014-06-18

    公开

    公开

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