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一种微纳操作环境下的精密宏动并联定位系统及方法

摘要

本发明公开了一种微纳操作环境下的精密宏动并联定位系统,该系统包括顺序相连的机械本体、标定装置、控制装置;机械本体包括底座、三组以上的相同的超声电机驱动支链及动平台;标定装置,用于标定运动学参数的实际值,反馈关节运动位置及校正动平台原点;控制装置,用于处理各模块信号并做出相应的处理,驱动机械本体按预定轨迹运动。本发明的定位系统及方法,规避了传统电磁电机的缺点,减少了附加机构的摩擦、间隙、弹性变形等非线性因素的影响,具有无间隙、高刚度、结构紧凑、可消除装配误差及尺寸误差、适用于微纳操作环境的特点;能实现亚微米级的定位精度与毫米级行程,并可应用于宏微结合定位台上。

著录项

  • 公开/公告号CN104317218B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南理工大学;

    申请/专利号CN201410536162.7

  • 发明设计人 张宪民;魏骏杨;莫嘉嗣;邱志成;

    申请日2014-10-11

  • 分类号

  • 代理机构广州市华学知识产权代理有限公司;

  • 代理人蔡茂略

  • 地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号

  • 入库时间 2022-08-23 09:59:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-08-25

    授权

    授权

  • 2015-02-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/042 申请日:20141011

    实质审查的生效

  • 2015-02-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/042 申请日:20141011

    实质审查的生效

  • 2015-01-28

    公开

    公开

  • 2015-01-28

    公开

    公开

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