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光致抗蚀膜和使用该光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种光致抗蚀膜和使用所述光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法。所述光致抗蚀膜包括支持膜上的光至热转换层,和所述光至热转换层上的热敏性聚合物层,其中,由于所述光致抗蚀膜包含热敏性聚合物,因而该光致抗蚀膜通过调节温度和使用脱离膜而容易脱离转移衬底。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-03-20

    授权

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  • 2014-04-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/09 申请日:20121227

    实质审查的生效

  • 2014-03-12

    公开

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