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Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及触摸面板

摘要

本发明涉及Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及触摸面板。涉及具备以下的特征的Cu合金靶用材料:(1)前述Cu合金靶用材料含有0.1~10.0at%的Zn,进而含有总含量为0.1~6.0at%的选自由Mg、Cr、Ca、Ti、Al、Sn、Ni和B组成的组中的至少一种元素,剩余部分由Cu和不可避免的杂质组成;以及(2)前述Cu合金靶用材料被用于靶,该靶用于将触摸面板的传感器电极和/或布线中使用的Cu合金膜形成于基板上。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-20

    授权

    授权

  • 2016-08-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F3/041 申请日:20140813

    实质审查的生效

  • 2016-08-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 3/041 申请日:20140813

    实质审查的生效

  • 2015-02-25

    公开

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  • 2015-02-25

    公开

    公开

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