公开/公告号CN105765704B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201380081208.4
申请日2013-12-27
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人陈松涛
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 10:26:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-19
授权
授权
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 申请日:20131227
实质审查的生效
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20131227
实质审查的生效
2016-07-13
公开
公开
2016-07-13
公开
公开
机译: 选择性蚀刻氧化物和氮化物材料及使用其形成的产品的技术
机译: 选择性蚀刻氧化物和氮化物的技术以及使用该技术制成的产品
机译: 选择性蚀刻氧化物和氮化物的技术以及使用该技术制成的产品