公开/公告号CN104977797B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201410131227.X
申请日2014-04-02
分类号G03F1/36(20120101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:30:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
专利权的转移 IPC(主分类):G03F1/36 登记生效日:20200310 变更前: 变更后: 申请日:20140402
专利申请权、专利权的转移
2019-04-26
授权
授权
2019-04-26
授权
授权
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/36 申请日:20140402
实质审查的生效
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/36 申请日:20140402
实质审查的生效
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20140402
实质审查的生效
2015-10-14
公开
公开
2015-10-14
公开
公开
2015-10-14
公开
公开
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