法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-25
授权
授权
2017-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20161213
实质审查的生效
2017-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20161213
实质审查的生效
2017-03-15
公开
公开
2017-03-15
公开
公开
机译: 磁控共溅射制备金属掺杂ZnO薄膜的方法
机译: 磁控共溅射制备掺杂金属的ZNO薄膜的方法
机译: FE-CR薄膜多层磁化的磁控方法