法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01D 3/028 授权公告日:20070815 终止日期:20110326 申请日:20040326
专利权的终止
2007-08-15
授权
授权
2005-09-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-13
公开
公开
机译: 具有具有MEMS结构的电容补偿器的差分电容型MEMS传感器装置
机译: 电容性MEMS传感器元件,具有用于电连接测量电容器电极的焊盘
机译: 具有键合垫的电容式MEMS传感器元件,用于电容式电极的电接触