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基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法

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摘要

本发明公开了一种基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法，在零加速度情况下标定出两谐振梁谐振频率平方和与其谐振频率差的单调变化关系曲线，然后在输入加速度情况下对两谐振梁谐振频率和谐振频率差进行测量，结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率差从测量得到的谐振频率差中减去，完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法，克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷，能够实现实时的、高精度的温度补偿。本发明方法的温度补偿成本低，该方案全部基于FPGA实现，不需要额外增加传感器和引入其它设备，仅利用已有电路器件即可实现。

著录项

公开/公告号CN107389979B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-12

原文格式PDF
申请/专利权人东南大学;
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申请/专利号CN201710505734.9
发明设计人李宏生;张婷;彭心悦;黄丽斌;
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申请日2017-06-28
分类号
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙);
代理人曾教伟
地址 210096 江苏省南京市四牌楼2号
入库时间 2022-08-23 10:36:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-12

授权

授权
2017-12-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/097 申请日:20170628

实质审查的生效
2017-12-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/097 申请日:20170628

实质审查的生效
2017-11-24

公开

公开
2017-11-24

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2017-11-24

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1. 基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法 [P] . 中国专利： CN107389979B . 2019.07.12
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