首页> 中国专利> 一种触摸屏开关、触摸屏及触摸屏开关的制作方法

一种触摸屏开关、触摸屏及触摸屏开关的制作方法

摘要

本发明提供一种触摸屏开关,包括玻璃基板、缓冲层、栅极绝缘层和第二金属层,还包括涂抹第二金属层上方且有一空心槽的平坦有机层;涂抹于平坦有机层上方、空心槽内表面及底部的第一介质层;设置第一介质层上方且一侧位于空心槽外,另一侧延伸至空心槽内的第三金属层;覆盖第一介质层及第三金属层上方的第二介质层,且对应空心槽所在区域上蚀刻有同时贯穿第二和第一介质层上下表面并远离第三金属层的两个第一通孔,以及贯穿第二介质层上下表面并位于第三金属层上方的两个第二通孔;覆盖第二介质层上方、两个第一通孔内表面及底部以及两个第二通孔内表面及底部的底部铟锡氧化物。实施本发明,既不压缩设计,也满足制程窗口,降低返工率并提升产量。

著录项

  • 公开/公告号CN107682001B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 武汉华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201710847436.8

  • 发明设计人 曾霜华;

    申请日2017-09-19

  • 分类号

  • 代理机构深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人潘中毅

  • 地址 430000 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

  • 入库时间 2022-08-23 10:47:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-10

    授权

    授权

  • 2018-03-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H03K17/96 申请日:20170919

    实质审查的生效

  • 2018-03-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H03K 17/96 申请日:20170919

    实质审查的生效

  • 2018-02-09

    公开

    公开

  • 2018-02-09

    公开

    公开

  • 2018-02-09

    公开

    公开

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