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光增感化学放大型抗蚀剂材料及使用了其的图案形成方法、以及半导体器件、光刻用掩模和纳米压印用模板的制造方法

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本发明提供一种光增感化学放大型抗蚀剂材料及使用了该光增感化学放大型抗蚀剂材料的图案形成方法、半导体器件、光刻用掩模、以及纳米压印用模板。本发明的光增感化学放大型抗蚀剂材料用于二段曝光光刻工艺，且包含：(1)能够显影的基础成分；及(2)通过曝光产生光增感剂和酸的成分。上述成分仅含有(a)酸‑光增感剂产生剂、(b)光增感剂前体及(c)光酸产生剂这3种成分中的(a)成分，或者含有其中的任意2种成分，或者含有(a)～(c)成分的全部。

著录项

公开/公告号CN106030417B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-28

原文格式PDF
申请/专利权人东京毅力科创株式会社;国立大学法人大阪大学;
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申请/专利号CN201580009168.1
发明设计人永原诚司;田川精一;大岛明博;
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申请日2015-02-17
分类号G03F7/38(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/039(20060101);G03F7/11(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人白丽;陈建全
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:51:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-28

授权

授权
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/38 申请日:20150217

实质审查的生效
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/38 申请日:20150217

实质审查的生效
2016-10-12

公开

公开
2016-10-12

公开

公开

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