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一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺方法

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摘要

本发明涉及一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺，在通常的PECVD镀膜后，将硅烷、氨气关闭，进一步利用氢气进行等离子体沉积。本发明提供的PECVD工艺形成的减反射膜层中具有高浓度的氢含量，为后续的电注入及光注入钝化工艺提供充分的氢，以达到更好的钝化效果提高太阳能电池的光电转换效率。此工艺在现有工业生产条件下进行改造，简单有效，具有较高的实用价值。

著录项

  • 公开/公告号CN108767056B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江西展宇新能源股份有限公司;

    申请/专利号CN201810410325.5

  • 发明设计人 刘庆平;邵辉良;邹臻峰;邱江南;陈圆;付少剑;

    申请日2018-05-02

  • 分类号H01L31/18(20060101);H01L21/02(20060101);H01L31/0216(20140101);

  • 代理机构36125 南昌恒桥知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人杨志宇

  • 地址 334100 江西省上饶市经济开发区旭日片区

  • 入库时间 2022-08-23 10:58:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-11

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L31/18 登记生效日:20200722 变更前: 变更后: 申请日:20180502

    专利申请权、专利权的转移

  • 2020-05-15

    授权

    授权

  • 2018-11-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20180502

    实质审查的生效

  • 2018-11-06

    公开

    公开

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