法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-05
授权
授权
2019-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B1/00 申请日:20180930
实质审查的生效
2018-12-25
公开
公开
机译: 基于非牛顿流体的抛光系统及其抛光方法
机译: 磁场辅助微抛光装置及磁场辅助微抛光方法
机译: 包含抛光剂,氧化剂的金属CMP抛光组合物,至少一种是选自基于聚(羧酸)的共聚物或其盐,基于磷酸的化合物和基于硫磺酸的化合物,以及阴离子的复合剂,以及一种方法组成的金属