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用于测量激光烧蚀微冲量的冲量秤的实现方法

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摘要

本发明提供了一种用于测量激光烧蚀微冲量的冲量秤的实现方法，如下三个步骤：设计冲量秤，设计横梁与挠性枢轴和核对冲量秤性能指标。根据最小冲量的测量需求和激光的脉宽参数t

1. 用于测量激光烧蚀微冲量的冲量秤的实现方法 [P] . 中国专利： CN111373877B . 2015.10.14
2. 用于测量激光烧蚀微冲量的冲量秤装置 [P] . 中国专利： CN111373876B . 2015.10.14
3. Method for measuring angular micro-deviations relative to a laser beam, preferably rotation errors of machines and the interferometer for measurements of angular micro-deviations relative to a laser beam, preferably rotation errors of machines [P] . PL230512B1 . 2018-11-30

机译：用于测量相对于激光束的角度微偏差，优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差，优选为机器的旋转误差的干涉仪
4. Method for measuring angular micro-deviations relative to a laser beam, preferably rotation errors of machines and the interferometer for measurements of angular micro-deviations relative to a laser beam, preferably rotation errors of machines [P] . PL418450A1 . 2018-02-26

机译：用于测量相对于激光束的角度微偏差，优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差，优选为机器的旋转误差的干涉仪
5. Method for measuring angular deviations of a laser beam and the optical system for measuring angular micro-deviations of a laser beam [P] . PL424588A1 . 2019-08-26

机译：用于测量激光束的角度偏差的方法和用于测量激光束的角度微偏差的光学系统