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一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路

摘要

本发明公开了一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路,包括第一结型场效应管,第二结型场效应管,第一电阻,第二电阻,第三电阻,第四电阻,第一电容,第二电容。该电路采用半导体一次集成实现,采用低噪声N型JFET工艺实现了电路的超低噪声性能,电路仅由8个元件构成,相对于传统的MEMS传感器检测电路具有结构简单、体积小、功耗低、可靠性高等优点。便于与陀螺仪敏感元件二次集成,通过将陀螺仪敏感元件和微小信号拾取电路封装到一个地线包围的密闭环境里,从而可进一步提高系统的抗干扰特性和电磁屏蔽能力。本发明在电路中实现了带通滤波,滤除了敏感结构的干扰,提高了检测精度。

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