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一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法

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本发明公开了一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法，将掩膜版置于无水乙醇中超声震荡清洗20‑30min后烘干，用超音速火焰喷涂设备将复合粉体对掩膜版表面进行喷涂，在掩膜版表面沉积一层耐腐绝缘层，超音速火焰喷涂采用压缩空气‑丙烷火焰，超音速火焰喷涂的工艺参数为：压缩空气总压力0.8‑1.2MPa，丙烷压力0.1‑0.2MPa，喷涂送料速度50‑100g/min，喷涂距离160‑200mm，喷涂角度为45‑90°，超音速火焰喷涂后的掩膜版于50‑80℃下热烘1‑5h，再自然冷却至室温即可，利用本发明方法处理后的掩膜版具有优良的绝缘和耐腐蚀性能，经过处理，可以有效延长掩膜版的使用寿命，降低OLED显示屏幕生产中的成本。

著录项

  • 公开/公告号CN111534781B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-09-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京深光科技有限公司;

    申请/专利号CN202010299903.X

  • 发明设计人 钱超;余洋;

    申请日2020-04-16

  • 分类号C23C4/129(20160101);C23C4/04(20060101);C23C14/04(20060101);

  • 代理机构32218 南京天华专利代理有限责任公司;

  • 代理人徐冬涛;竞存

  • 地址 211100 江苏省南京市江宁区燕湖路189号(江宁开发区)

  • 入库时间 2022-08-23 12:31:42

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