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用于测量位移的干涉仪系统以及采用该干涉仪系统的曝光系统

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摘要

用于测量位移的干涉仪系统包括位移干涉仪。该干涉仪包括响应测量光束的位移变换器。配置该位移变换器，以将其在垂直于测量光束的方向上的移动变换为位移变换器的反射面与测量光束之间的光程长度的变化。位移变换器可以包括透射光栅和位移反射镜或者反射光栅。

著录项

  • 公开/公告号CN100520280C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-07-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN200510107092.4

  • 发明设计人 朴崠云;

    申请日2005-09-27

  • 分类号G01B9/02(20060101);G01B9/025(20060101);G03F7/20(20060101);

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人林宇清;谢丽娜

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-07-29

    授权

    授权

  • 2007-11-28

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-04-12

    公开

    公开

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