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一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法

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摘要

本发明公开了一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法，属于信息存储及电感技术领域。本发明技术方案通过将沉积完毕后的样品在真空环境下，进行适当温度的热处理，诱发其界面结构的改变。通过界面处的Co‑O轨道杂化强弱来调节铁磁/非磁(Co基软磁材料/MO)界面处的轨道结构，得到有益的、适度的Co‑O轨道杂化状态，进而调控铁磁薄膜材料磁性能，具有工艺简单、控制方便、效率高、成本低等优点，适合应用于未来信息存储和电感技术中。

著录项

  • 公开/公告号CN112509805B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-05-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山东麦格智芯机电科技有限公司;

    申请/专利号CN202011120297.7

  • 发明设计人 徐秀兰;于广华;冯春;

    申请日2020-10-19

  • 分类号H01F41/18;H01F41/22;

  • 代理机构北京市广友专利事务所有限责任公司;

  • 代理人张仲波

  • 地址 255400 山东省淄博市临淄区齐都镇齐都路52号505室

  • 入库时间 2022-08-23 13:43:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-27

    授权

    发明专利权授予

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