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一种待失效分析样品的制备方法及待失效分析样品

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摘要

本发明实施例公开了一种待失效分析样品的制备方法，所述方法包括：提供封装结构，所述封装结构包括芯片堆叠结构以及覆盖所述芯片堆叠结构的密封剂；所述芯片堆叠结构包括基板，堆叠设置在所述基板上方的多个芯片，及用于使所述多个芯片之间，和/或所述多个芯片与所述基板之间实现电连接的多条导电线；所述多个芯片在所述基板上方依次堆叠形成第一台阶结构，所述多条导电线位于所述第一台阶结构的上方；对所述第一台阶结构上方的密封剂执行多次研磨步骤，以切断所述多条导电线，得到所述待失效分析样品。

著录项

  • 公开/公告号CN113097086B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-06-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;

    申请/专利号CN202110321380.9

  • 发明设计人 庞涛;韩龙;

    申请日2021-03-25

  • 分类号H01L21/66;

  • 代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘鹤;张颖玲

  • 地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

  • 入库时间 2022-08-23 13:47:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-07

    授权

    发明专利权授予

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