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失效分析样品的制备方法及失效分析样品

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本发明提供一种失效分析样品的制备方法及失效分析样品，制备方法包括如下步骤：提供待分析的堆叠封装体，堆叠封装体中设置有多个堆叠的裸片，每一裸片具有设置焊垫的正面及与正面相对的背面，裸片的背面与其相邻的裸片的正面接触，所述裸片的焊垫与其相邻的裸片的焊垫电连接；去除目标裸片背面的其他裸片，至暴露出与所述目标裸片相邻的裸片的焊垫时停止；将暴露的焊垫电学引出，形成用于失效分析的样品。本发明优点是，对目标裸片背面进行去除操作，且利用非目标裸片焊垫作为电连接处，从而避免对目标裸片具有电路器件的正面进行去除操作，保护了正面的电路器件，能够制备出完整无损伤的目标裸片，大大提高了制样成功率，大大降低了制样难度。

著录项

公开/公告号CN111812487B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-13

原文格式PDF
申请/专利权人长江存储科技有限责任公司;
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申请/专利号CN202010673930.9
发明设计人漆林;李辉;
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申请日2020-07-14
分类号G01R31/28(20060101);
代理机构31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人孙佳胤;高翠花
地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2022-08-23 11:38:49

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