公开/公告号CN113097086A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN202110321380.9
申请日2021-03-25
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构11270 北京派特恩知识产权代理有限公司;
代理人刘鹤;张颖玲
地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2023-06-19 11:45:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-07
授权
发明专利权授予
机译: 用于半导体晶片中失效分析的样品制备装置及其制备方法
机译: 失效分析系统的样品台的导航方法和半导体存储器的表面观察装置
机译: 样品的电荷束处理装置和方法以及半导体和/或真空评估装置的失效分析方法