退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN100593712C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;
申请/专利号CN200710043529.1
发明设计人 王建宇;马德敏;舒嵘;何志平;亓洪兴;吕刚;忻松筠;
申请日2007-07-06
分类号G01N21/63(20060101);G06F17/00(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人郭英
地址 200083 上海市玉田路500号
入库时间 2022-08-23 09:04:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-03-10
授权
2008-02-13
实质审查的生效
2007-12-19
公开
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 时间分辨发射光谱或时间分辨激发光谱的测量方法
机译: 基于激光诱导等离子体的原子发射光谱仪装置,包括相同结构的半导体制造设备以及使用相同结构制造半导体元件的方法
机译:等离子体气体的影响和激光诱导等离子体光发射光谱法中铜发射线空间和时间分辨图像的影响
机译:激光诱导等离子体中氢,氰化物和碳的时间和空间分辨的发射光谱法
机译:使用具有5-MHz计数的多年型PMT和新的时间相关的单光子计数(TCSPC)电子的新的时间分辨发射光谱同时检测时间分辨的发射光谱
机译:双原子和三原子金属氢化物的高分辨率红外发射光谱。
机译:使用激光诱导击穿光谱(LIBS)和电感耦合等离子体原子发射光谱法的干果营养和有毒元素分析(ICP-AES)
机译:激光诱导等离子体中原子和分子种类的时间分离的发射光谱
机译:短脉冲激光诱导结构转换中的时间分辨衍射谱和原子动力学:分子动力学研究