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形状测定装置用探头及形状测定装置

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摘要

本发明提供一种形状测定装置以及设置在该形状测定装置上的形状测定装置用探头，该形状测定装置能够在不采用复杂的装置结构的情况下，不论侧面的倾斜方向如何都可进行形状测定。在形状测定装置用探头中，连接安装用部件(2)和摆动部件(3)的连接机构(4)具有设置在摆动部件(3)上的支点部件(42)和设置在安装用部件(2)上的载置台(41)，且将摆动部件(3)连接成相对于安装用部件(2)可向任意方向倾斜。安装用部件(2)和摆动部件(3)被构成为：设置在摆动部件(3)上的可动侧部件(51)和设置在安装用部件(2)上的固定侧部件(52)彼此在非接触状态下发生磁性吸引力，该磁性吸引力以摆动部件(3)的探杆向铅直方向的方式进行施力。根据该结构，能够测定与Z方向大致平行、向X、Y方向的任意方向倾斜的侧面形状。

著录项

公开/公告号CN101322005B

专利类型发明专利
公开/公告日2010-12-01

原文格式PDF
申请/专利权人松下电器产业株式会社;
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申请/专利号CN200780000443.9
发明设计人舟桥隆宪;吉住惠一;
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申请日2007-05-08
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汪惠民
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:05:46

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-12-01

授权

授权
2009-02-04

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-12-10

公开

公开

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