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基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法

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摘要

本发明涉及基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法，包括沿光的入射方向依次设置的照明单元、显微放大单元以及相衬成像单元；照明单元包括依次沿光路方向设置的扩束系统、多光束照明产生单元、缩束准直单元；扩束系统包括沿光路方向依次设置的激光器、光强控制器和扩束单元；多光束照明产生单元包括沿光路依次设置的锥镜、第一透镜、旋转散射体、第二透镜以及振幅掩模板；被测样品放置在第一物镜和第二物镜之间的焦面上，被测样品和CCD相机满足物像关系。本发明解决了传统泽尼克相衬成像的光晕效应，同时实现了对相位物体的定量测量，光路具有相干噪声小，抗振动性好，横向分辨率高等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN102221327B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-07-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院西安光学精密机械研究所;

    申请/专利号CN201110110119.0

  • 发明设计人 郜鹏;姚保利;雷铭;严绍辉;但旦;叶彤;

    申请日2011-04-29

  • 分类号G01B9/023(20060101);G02B21/36(20060101);G02B21/00(20060101);G02B21/14(20060101);

  • 代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;

  • 代理人王少文

  • 地址 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

  • 入库时间 2022-08-23 09:10:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-07-11

    授权

    授权

  • 2011-11-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/023 申请日:20110429

    实质审查的生效

  • 2011-10-19

    公开

    公开

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