公开/公告号WO2014124980A3
专利类型
公开/公告日2014-12-11
原文格式PDF
申请/专利号WO2014EP52745
发明设计人 FLIEGEL WOLFRAM;KLEMENT CHRISTOPH;WILLNAUER CHRISTA;SCHEFFER-CZYGAN MAX;KLEINWECHTER ANDRÉ;EICHLER STEFAN;WEINERT BERNDT;MÄDER MICHAEL;
申请日2014-02-12
分类号H01L21/02;G01N21/21;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 15:10:32