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EPITAXIAL GROWTH OF A HIGH QUALITY MAGNESIUM OXIDE FILM USING A CUBIC SILICON CARBIDE BUFFER LAYER ON A SILICON (100) SUBSTRATE

机译:使用硅质碳化硅缓冲层在硅(100)基质上的高质量氧化镁膜的表观生长

摘要

A CVD method for growing MgO on a Si(100) substrate coated with a cubic SiC buffer layer provides a single-crystalline MgO film having improved quality.
机译:一种用于在涂覆有立方SiC缓冲层的Si(100)衬底上生长MgO的CVD方法提供了质量提高的单晶MgO膜。

著录项

  • 公开/公告号KR100370504B1

    专利类型

  • 公开/公告日2003-01-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20000044955

  • 发明设计人 김윤수;이성용;이선숙;

    申请日2000-08-03

  • 分类号H01L21/205;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 23:45:48

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