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GROWTH OF GAN ON SAPPHIRE WITH MSE GROWN BUFFER LAYER

机译:带有MSE的BUFFER层的GAN在蓝宝石上的生长

摘要

A method of fabricating a gallium nitride or like epilayer on sapphire is disclosed wherein a buffer layer is grown on the sapphire substrate by magnetron sputter epita xy (MSE); and then the gallium nitride epilayer is formed on the buffer layer, preferably by molecular beam epitaxy.
机译:公开了一种在蓝宝石上制造氮化镓或类似外延层的方法,其中通过磁控溅射外延xy(MSE)在蓝宝石衬底上生长缓冲层;然后优选通过分子束外延在缓冲层上形成氮化镓外延层。

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