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PROCESS FOR MAKING THIN FILMS BY PULSED EXCIMER LASER EVAPORATION

机译:通过脉冲准分子激光蒸发制备薄膜的方法

摘要

A process for producing thin films of superconducting material by bombarding a heated target with radiation from pulsed high energy UV laser to form a plume of target material, and depositing the plume on a substrate is disclosed.
机译:公开了一种通过用来自脉冲高能UV激光的辐射轰击加热的靶以形成靶材料的羽流并将该羽流沉积在基板上的方法来制造超导材料薄膜。

著录项

  • 公开/公告号EP0664927B1

    专利类型

  • 公开/公告日1997-07-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DU PONT;

    申请/专利号EP19930923279

  • 申请日1993-10-13

  • 分类号H01L39/24;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 03:20:26

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