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薄膜厚度对Co90Fe10薄膜电特性影响的研究

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本文利用Co90Fe10靶,采用电子束真空蒸发方法制备了CoFe薄膜,研究了薄膜厚度、退火处理对C090Fe10薄膜电特性的影响,以及厚度对磁电阻特性的影响．实验发现,薄膜电阻率随厚度的增加而减小,样品厚度较小时,厚度对电阻率的影响较大,450℃退火后,样品电阻率明显较小．室温沉积态,各向异性磁电阻率随样品厚度的增加略有增大,最大磁电阻率约为0．18％．

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来源
《2011年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会》|2011年|68-71|共4页
会议地点郑州
作者
陈森; 付建波; 谢剑桥; 魏家琦; 吴平; 张师平;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 O484.42;
关键词
退火; Co90Fe10薄膜; 电阻率; 各向异性磁电阻; 薄膜厚度;

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