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二维PSD动态响应误差分析

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针对光源连续扫描位置敏感器(PSD)时,PSD产生的动态响应误差随扫描速度的不同而发生变化的问题,基于二维四边型PSD,建立光源扫描照射下PSD动态响应模型,仿真分析得到了不同光源扫描速度下,PSD动态响应误差的分布,光源扫描速度越快,PSD动态响应误差越大。最后对影响动态响应误差分布的两个主要因素进行了分析。建立的二维PSD动态响应模型及仿真结果为PSD器件的实际工程应用提供了一个有效的依据。

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来源
《二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会》|2008年|302-305|共4页
会议地点西安
作者
尚鸿雁;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光检测技术;
关键词
位置敏感器; 动态响应误差; 扫描速度; 仿真;

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