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厚膜成膜工艺中的膜厚控制

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厚膜成膜工艺中膜厚对成膜质量有重大的影响,本文探讨了膜厚的意义,影响膜厚的工艺因素及在实际工作中采取的控制措施.

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来源
《第十三届全国混合集成电路学术会议论文专辑》|2003年|40-43|共4页
会议地点合肥
作者
夏少军;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类厚膜混合集成电路（厚膜电路）;
关键词
膜厚成膜工艺; 丝网; 掩模; 粘度; 膜厚控制;

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