Li<'7>卢瑟福背散射研究了外延层中的原子浓度及其分布,用红外透射谱和喇曼光谱测量得到了不同退火温度下这些稀土硅化物的红外特征吸收和喇曼特征峰,结合X-射线衍射测量研究了这些稀土硅化物由非晶相的转变过程.'/> 稀土(Yb,Gd)硅化物的固相外延与红外、喇曼光谱研究-谢二庆王文武张亚涛贺德衍-中文会议【掌桥科研】

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稀土(Yb,Gd)硅化物的固相外延与红外、喇曼光谱研究

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本文报道用共蒸发法并辅助原位退火在单晶硅上制备稀土硅化物外延层.利用2.5MeV<'+>Li<'7>卢瑟福背散射研究了外延层中的原子浓度及其分布,用红外透射谱和喇曼光谱测量得到了不同退火温度下这些稀土硅化物的红外特征吸收和喇曼特征峰,结合X-射线衍射测量研究了这些稀土硅化物由非晶相的转变过程.

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来源
《第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会》|2001年|152-154|共3页
会议地点北京
作者
谢二庆; 王文武; 张亚涛; 贺德衍;
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作者单位

中国金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类稀土半导体;
关键词
稀土硅化物; 固相外延生长; 红外吸收光谱; 喇曼光谱;

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