优质多晶硅薄膜的低温制备技术

著录项

• 来源
  《第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会》|2001年|179-184|共6页
• 会议地点 北京
• 作者

  林璇英; 黄创君; 林揆训; 余楚迎; 姚若河;

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• 作者单位

  中国金属学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  多晶硅; 固相晶化; 非晶硅氢合金薄膜; 金属诱导;