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基于开放平台的MEMS陀螺建模仿真与验证

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根据全解耦MEMS陀螺的工作原理和信号流的传递特性,建立了基于开放平台Qucs的陀螺集总参数等效电路模型.利用该模型,搭建了简化的MEMS陀螺闭环电路驱动方案,仿真结果验证了该闭环驱动方案的可行性.此外,利用开放平台的参数仿真,研究了敏感模态的静电调谐效应,并进行了实验验证,其结果与仿真分析结果相差不超过 0.35%.该模型有助于理解MEMS陀螺工作原理和设计优化陀螺系统.

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来源
《2012中国制导、导航与控制学术会议》|2012年|1163-1167|共5页
会议地点北京
作者
王玉朝; 王小斌; 余才佳; 王刚; 孙俊杰;
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作者单位

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类陀螺仪表;
关键词
MEMS陀螺; 驱动闭环; 静电调谐; 等效电路模型;

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