New Techniques For The Measurement of X-Ray Beam or X-Ray Optics Quality

机译：测量X射线束或X射线光学器件质量的新技术

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Metrology of XUV beams and more specifically X-ray laser (XRL) beam is of crucial importance for development of applications. We have then developed several new optical systems enabling to measure the x-ray laser optical properties. By use of a Michelson interferometer working as a Fourier-Transform spectrometer, the line shapes of different x-ray lasers have been measured with an unprecedented accuracy (δλ/λ～10~(-6)). Achievement of the first XUV wavefront sensor has enable to measure the beam quality of laser-pumped as well as discharge pumped x-ray lasers. Capillary discharge XRL has demonstrated a very good wavefront allowing to achieve intensity as high 3*10~(14) Wcm~(-2) by focusing with a f = 5 cm mirror. The measured sensor accuracy is as good as λ/120 at 13 nm. Commercial developments are under way.

机译：XUV光束，尤其是X射线激光（XRL）光束的计量对于开发应用至关重要。然后，我们开发了几种新的光学系统，可以测量X射线激光的光学特性。通过将迈克尔逊干涉仪用作傅立叶变换光谱仪，以前所未有的精度（δλ/λ〜10〜（-6））测量了不同X射线激光的线形。第一个XUV波前传感器的成就使得能够测量激光泵浦和放电泵浦X射线激光器的光束质量。毛细管放电XRL表现出非常好的波前效果，通过使用f = 5 cm镜聚焦，可以实现高达3 * 10〜（14）Wcm〜（-2）的强度。在13 nm处测得的传感器精度达到λ/ 120。商业发展正在进行中。

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来源
《Conference on Soft X-Ray Lasers and Applications V; Aug 6-7, 2003; San Diego, California, USA》|2003年|p.194-204|共11页
会议地点 San Diego CA(US)
作者
Ph. Zeitoun; Ph. Balcou; S. Bucourt; D. Benredjem; F. Delmotte; G. Dovillaire; D.Douillet; J. Dunn; G. Faivre; M. Fajardo; K.A. Goldberg; M. Idir; S. Hubert; J. R.Hunter; S. Jacquemot; S. Kazamias; S. le Pape; X. Levecq; C.L.S. Lewis; R. Marmoret;
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作者单位

Laboratoire d'Interaction du rayonnement X avec la Matiere, Universite Paris-Sud, Bat 350, 91405 Orsay, France;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词
x-ray laser; longitudinal coherence; michelson soft x-ray interferometry; EUV optics;

机译：X射线激光;纵向相干; Michelson软X射线干涉法; EUV光学;

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