• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>International symposium on System synthesis >Particle-in-cell simulation of plasma immersion ion implantation(PIII) of industrial gears
【24h】

Particle-in-cell simulation of plasma immersion ion implantation(PIII) of industrial gears

机译：等离子体浸没离子注入的粒子模拟（PIII）工业齿轮

获取原文
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Summary form only given. Plasma immersion ion implantation (PIII)has emulates conventional beam-line ion implantation in that theimplantation time is independent of the sample size and large industrialcomponents of an irregular shape can be treated relatively easily due toits non-line-of-sight characteristic. For example, due to the non-planarand periodic structure of industrial gears, conventional deposition andbeam-line treatment techniques are not easily implemented. In addition,as they are used in space, typically as a component in a satellite,conventional coatings may not function desirably either, and PIII is theideal technique in this case. In this work, we employ a theoreticalmodel to investigate the PIII process of this important industrialcomponent. To simulate implantation into the three-dimensional structureof a commercial gear, we work in cylindrical coordinates. Due to theperiodic structure of the saw-teeth, we only need to simulate the volumeof one tooth. 2D simulation along the (r-0) plane is carried out by theparticle-in-cell (PIC) method. The incident dose and impact angle alongthe surface of the tooth are derived and our results indicate that along implantation pulse will implant more ions at the bottom of thetooth at normal angle since the momentum of the incoming ionsaccelerated at the middle and end period of the pulse will overcome theattractive force from the sidewall of the tooth. Therefore, shorterpulse duration will implant the whole surface of the tooth moreuniformly. We will also provide an estimation on the preferred pulseduration for different tooth dimensions
机译：仅提供摘要表格。等离子体浸没离子注入（PIII） 模仿了传统的束线离子注入，因为 植入时间不受样品量和工业规模的影响 由于以下原因，不规则形状的组件可以相对容易地进行处理： 其非视线特征。例如，由于非平面 齿轮的周期性结构，常规沉积和 束线处理技术不容易实现。此外， 因为它们在太空中使用，通常作为卫星的组成部分， 常规涂料也可能无法令人满意地发挥作用，而PIII是 在这种情况下的理想技术。在这项工作中，我们采用了理论 这个重要工业的PIII过程的模型 成分。模拟向三维结构的植入 关于商用齿轮，我们在圆柱坐标系中工作。因为 锯齿的周期性结构，我们只需要模拟其体积 一颗牙齿。沿（r-0）平面的2D模拟是由 单元中粒子（PIC）方法。沿的入射剂量和冲击角 得出牙齿的表面，我们的结果表明 长的注入脉冲将在底部注入更多的离子 由于入射离子的动量，牙齿呈法线角 在脉冲的中段和末段加速将克服 来自牙齿侧壁的吸引力。因此，较短 脉冲持续时间将更多地植入牙齿的整个表面 统一地我们还将提供首选脉冲的估计 不同牙齿尺寸的持续时间

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号