OPC methods to improve image slope and process window

机译：OPC方法，以改善图像斜率和过程窗口

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In this paper, we use the gradient of the image slope and gradient of the edge placement error (EPE) in order to improve both slope and EPE during OPC. The EPE gradient taken with respect to edge position is normally called MEEF or more generally, the MEEF matrix. Use of the gradient of image slope with respect to change in edge position is a relatively new concept, introduced by Granik as the "contrast matrix". Whereas traditional OPC techniques focus on EPE alone (pattern fidelity), we broaden the scope of OPC to maximize slope for improved image robustness and to maximize process window.

机译：在本文中，我们使用边缘放置误差（EPE）的图像斜率和梯度的梯度，以便在OPC期间改善斜率和EPE。相对于边缘位置拍摄的EPE梯度通常称为MEEF矩阵。使用图像斜率的梯度相对于边缘位置的变化是相对较新的概念，由格兰克作为“对比矩阵”引入。而传统的OPC技术专注于单独EPE（模式保真），我们拓宽了OPC的范围，以最大限度地提高坡度，以改善图像稳健性，并最大限度地提高过程窗口。

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来源
《Conference on design and process integration for microelectronic manufacturing》|2003年||共10页
会议地点
作者
Nick Cobb; Yuri Granik; SPIE-The International Society for Optical Engineering;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类材料;
关键词
MEEF; OPC; process window;

机译：meef;opc;过程窗口;

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