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Advancing silicon photonics by germanium ion implantation into silicon

机译：通过锗ION植入进入硅的硅光子

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We review our recent developments of the trimming techniques for correcting the operating point of ring resonator and Mach-Zehnder Interferometers (MZIs). This technology has been employed to fine-tune the effective index of waveguides, and therefore the operating point of photonic devices, enabling permanent correction of optical phase error induced by fabrication variations. Large resonance wavelength shift of ring resonators was demonstrated, and the shift can be tuned via changing the laser power used for annealing. A higher accuracy trimming technique with a scanning laser was also demonstrated to fine-tune the operating point of integrated MZIs. The effective index change of the optical mode is up to 0.19 in our measurements, which is approximately an order of magnitude improvement compared to previous work, whilst retaining similar excess optical loss.
机译：我们审查了最新的修剪技术的开发，用于校正环谐振器和Mach-Zehnder干涉仪（MZIS）的操作点。该技术已经采用了微调波导的有效指标，因此是光子器件的操作点，从而能够永久校正通过制造变化引起的光学相位误差。对环谐振器的大共振波长偏移进行了说明，并且可以通过改变用于退火的激光功率来调谐偏移。还证明了具有扫描激光的更高精度修整技术，可微调集成MZIS的操作点。测量中光学模式的有效指数变化高达0.19，与先前的工作相比，这是大约一个数量级改善的顺序，同时保持类似的过度光学损失。

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