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Advancing silicon photonics by germanium ion implantation into silicon

机译：通过将锗离子注入硅中来推进硅光子学

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We review our recent developments of the trimming techniques for correcting the operating point of ring resonator and Mach-Zehnder Interferometers (MZIs). This technology has been employed to fine-tune the effective index of waveguides, and therefore the operating point of photonic devices, enabling permanent correction of optical phase error induced by fabrication variations. Large resonance wavelength shift of ring resonators was demonstrated, and the shift can be tuned via changing the laser power used for annealing. A higher accuracy trimming technique with a scanning laser was also demonstrated to fine-tune the operating point of integrated MZIs. The effective index change of the optical mode is up to 0.19 in our measurements, which is approximately an order of magnitude improvement compared to previous work, whilst retaining similar excess optical loss.
机译：我们回顾了微调技术的最新发展，以校正环形谐振器和Mach-Zehnder干涉仪（MZIs）的工作点。这项技术已被用来微调波导的有效折射率，从而微调光子器件的工作点，从而能够永久校正由制造差异引起的光学相位误差。已证明环形谐振器的谐振波长偏移较大，并且可以通过更改用于退火的激光功率来调整偏移。还证明了使用扫描激光的高精度修整技术可以微调集成MZI的工作点。在我们的测量中，光学模式的有效折射率变化高达0.19，与以前的工作相比，大约提高了一个数量级，同时保留了类似的过量光学损耗。

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