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STRENGTH OF SURFACE MICROMACHINED DIAPHRAGMS

机译：表面微机械钻探强度

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摘要

This paper presents the study of the strength of surface micromachined diaphragms. It is found that the diaphragm strength strongly depends on the diaphragm boundary conditions. A new fabrication technique which does not change the mask and fabrication process is proposed to improve the common step-up boundary condition. Test diaphragms with diameters from 200 μm to 800 μm and three different boundary conditions have been fabricated using silicon nitride/PSG and silicon nitride/polysilicon surface micromachining processes. Experimentally, it is found that the strength of the diaphragms is significantly improved with the new boundary conditions. The application of this technique to other surface micromachined structures is also described.
机译：本文介绍了表面微机械隔膜的强度研究。发现隔膜强度在很大程度上取决于隔膜边界条件。为了改善常见的升压边界条件，提出了一种不改变掩模和制造工艺的新制造技术。使用氮化硅/ PSG和氮化硅/多晶硅表面微加工工艺已经制造出直径为200μm至800μm且具有三种不同边界条件的测试膜片。实验发现，在新的边界条件下，隔膜的强度得到了显着提高。还描述了该技术在其他表面微机械结构上的应用。

著录项

  • 来源
  • 会议地点 San Francisco CA(US)
  • 作者

    XING YANG; FRANCES M. SIU; YU-CHONG TAI;

  • 作者单位

    Caltech Micromachining Laboratory, 136-93, Electrical Engineering California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125;

    Caltech Micromachining Laboratory, 136-93, Electrical Engineering California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125;

    Caltech Micromachining Laboratory, 136-93, Electrical Engineering California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 结构;材料;
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