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A Curled-Hinge Comb Micro-Mirror Using CMO-MEMS Process

机译：使用CMO-MEMS工艺的卷曲铰梳微镜

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This paper presents a large displacement static-electricity curled-hinge comb micro-mirror made by a CMOS-MEMS process. A micro-spring is incorporated to reduce the stress effects and the process variation. A mirror with a size of 500um x 500um is made using three metal layers. The micro-spring made a metal layer and a poly layer with a size of 4um x 21um. The nature frequency is 727 Hz and the maximum displacement of the micro-mirror is 32um using a driving voltage of 25 volts. The process variation has been successfully reduced from 30% to 10%.
机译：本文提出了一种采用CMOS-MEMS工艺制造的大位移静电弯铰梳状微镜。内置了一个微弹簧，以减少应力影响和工艺变化。使用三个金属层制作尺寸为500um x 500um的镜子。微弹簧制成了一个金属层和一个尺寸为4um x 21um的多层。使用25伏的驱动电压，自然频率为727 Hz，微镜的最大位移为32um。工艺变化已成功地从30％降低到10％。

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